自动化检查的智能功能
一个经过稀疏数据训练的人工智能分析仪，以识别晶粒缺陷和感兴趣的特征。经过培训后，可以将分析仪导入生产工具，并开始自动检测和分类缺陷。
该自动化创造了高度可重复的检查结果，并减少了操作员错误的机会。
NSPEC PS具有一个程序，该程序将没有缺陷的模具与其他模具进行比较，并报告了与缺陷的所有模具的位置坐标，无论它们是由颗粒或系统缺陷簇引起的随机缺陷，还是由光震和暴露过程引起的。然后，自动化系统生成了晶圆上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。
NSPEC®PS
具有人级智能的自动检查
测序很容易保存在配方中，以帮助产生高度可重复的研究。用户可以将晶圆标记为拒绝以协助质量控制过程。狗万滚球app下载纳米人的装载机控制软件具有自动组和单独的晶圆处理。控制软件通过正确报告和处理所有运动控制错误来确保晶片的安全。
NSPEC®PS
完全自动化检查：
- 底物晶片
- Epi晶圆
- 图案化的晶圆
- 切成丁的晶圆
- 单个设备
NSPEC
®PS
特征
自动晶圆处理
多分辨率设置范围为0.25μm和更大
快速扫描
可自定义的缺陷报告
各种样本袋以满足特定需求
对缺陷或感兴趣检测特征的强大分析
检查和审查程序
多系统同步
小占地面积和最小设施要求
机架安装控件
NSPEC®PS
规格
- 重量
318公斤
- 尺寸（w x d x h）
153厘米x 133厘米x 176厘米
- 最小真空需求
24英寸HG（70 kPa）
- 电源
110V/220V，3.5安培
- 一次运行一个录音带
25瓦金/盒，标准H-bar盒式盒子
- 标准晶圆尺寸
50、75、100、150或200毫米
- 尺寸（w x d x h）：
71厘米x 75厘米x 35厘米
- 重量
54公斤
- 前一致器
- 照明模式
Brightfield，Darkfield，DIC（Nomarski）
- Lightsource
白光LED（其他可用选项）
- 目标
2.5、5、10、20或50X，用户可选
- 旅行，典型
200 mm x和y方向
- 定位
带闭环编码器的线性伺服电动机（分辨率为50 nm）
- 可重复性
+/-0.5μm
- 旅行平坦
30μm
- 建造
精密地面赛道和交叉辊轴承
- 安装平台
显微镜/重型基座，整合到隔离表中
- 中心负载能力
2.27公斤
- 重量
11.33公斤
- 尺寸（w x d x h）
35厘米x 37厘米x 4厘米
- AFM
- 秒/宝石
- OCR相机
- 传输光