NSPEC®LS
世界上最先进的检查工具
检查系统设计可轻松设置重复的质量控制测试，除了进行单个图像捕获或扫描设置。配置选项包括晶圆大小，要识别的缺陷类型以及扫描分辨率。可选的晶圆装载机和各种样品可用于满足特定需求。
NSPEC®LS
光学的检查：
- 底物晶片
- Epi晶圆
- 图案化的晶圆
- 切成丁的晶圆
- 单个设备
NSPEC
®LS
特征
多个分辨率设置
快速扫描
晶圆镶嵌
可自定义的缺陷报告
晶圆大小，缺陷类型和扫描分辨率的配置选项
样品查克尺寸以满足特定需求
NSPEC®LS
规格
- 旅行，典型
200 mm x和y方向
- 中心负载能力
2.27公斤
- 可重复性
+/-0.5μm
- 步长
0.04μm
- 旅行平坦
30μm
- 重量
54公斤
- 限制开关
机械，不可调节
- 晶圆真空卡克（可选）
可调节为50、75、100、150、200或300毫米
- 白色照明：
LED（其他选项可用）
- Brightfield/Darkfield目标：
5、10、20或50X，用户可选
- 差分干扰对比：
（Normarski）
- 舞台，聚焦，鼻台，照明，相机
手动用户操作