具有自动化检查过程的检测功能
狗万滚球app下载纳米人的装载机控制软件具有组和单个晶圆处理。CPS检查软件可以将测序保存在配方中，以使用户可重复进行高度重复的结果。该软件还允许您标记晶圆速度加快质量控制过程。该控制软件通过报告和处理所有运动控制错误来确保晶片的安全。
NSPEC®CPS
NSPEC®CPS
学到更多具有人级智能的自动检查
具有可靠性和灵活性的复杂图像处理检查工具，以及可靠的，高度可重复的结果。可以对AI增强检查软件进行培训，以检测出稀疏数据的缺陷。经过培训后，可以将算法导入到生产工具中，并且用户可以自动对感兴趣的缺陷和功能进行分类。CPS检查系统生成了晶圆上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。
NSPEC®CPS
完全自动化检查：
- 底物晶片
- Epi晶圆
- 图案化的晶圆
- 切成丁的晶圆
- 单个设备
NSPEC
®CPS
特征
自动晶圆处理
多个分辨率设置
快速扫描
可自定义的缺陷报告
晶圆镶嵌
各种样品大小以满足特定需求
对缺陷或感兴趣检测特征的强大分析
自动检查和审查程序
多系统同步
小占地面积和最小设施要求
机架安装控件
门互锁
NSPEC®CPS
规格
- 重量
540公斤
- 尺寸（w x d x h）
158厘米x 173厘米x 202厘米
- 最小真空需求
24英寸HG（70 kPa）
- 电源
110V/220V，30安培
- 一次运行一个盒子：
每个盒式盒子或合伙人25晶片
- 标准晶圆尺寸
300，200mm带适配器
- 前一致器
- 照明模式：
Brightfield，Darkfield，DIC（Nomarski）
- 光源
白光LED，其他可用的选项
- 目标
2.5、5、10、20或50X，用户可选
- 旅行，典型
350毫米x和y方向
- 定位
带闭环编码器的线性伺服电动机（分辨率为50 nm）
- 可重复性
+/-0.5μm
- 旅行平坦
20μm
- 建造：
精密地面赛道和高分子线性指南
- 安装平台
隔离平台集成到机柜系统中
- 中心负载能力：
5公斤
- AFM
- 秒/宝石
- OCR相机
- 空气离子化器