NSPEC^®宏

独立宏缺陷检查

狗万滚球app下载Nanotronics提供了全范围的自动解决方案，可为您的特定晶圆检查要求获得快速结果。NSPEC®宏观系统设计用于检查最高200mm的裸露或图案化的晶圆。最小缺陷分辨率从50至100微米不等，取决于视场或晶圆大小。紧凑的缺陷检测系统会自动捕获和分析图像以检测和量化感兴趣的缺陷和特征。NSPEC®宏观系统提供完整的样品照明或单独修改LED的能力，以调整照明的强度，颜色和位置，以完成完整的颜色和位置灵活性。