紧凑的nspec.®系统在美国,欧洲和亚洲使用,在生产过程的每一步,从裸露的晶圆通过切割和后包装来检查晶圆。nspec.®软件可以评估晶片表面质量和计数和垃圾箱缺陷,分数是大型检查装置的成本。

nspec.®光学检测系统采用超级分辨率,机器学习和人工智能分析仪,允许用户自定义功能和缺陷报告。该系统可用于检查裸露的基板,ePI,图案化和蚀刻晶片,以及芯片和MEM。

用户可以轻松配置NSPEC®在任何阶段生产过程中检查晶圆。nspec.®软件可以与Fab中的所有检查设备连接,因此工程师可以在缺陷识别数据和过程 - 工具参数之间找到相关性,并及时校正制造工具。

系统可以与标准软件集成。秒/宝石,klarity(klarf进出口),专有过程控制和符合LIMS系统。