快速光学扫描
nspec.®快速且充分自动化。您可以在您选择的视图模式下快速扫描样本,系统将自动分析,箱,分类,并根据您设置的阈值和报告参数报告缺陷。
我们已经为图像和自动化硬件的检测,分类和增加的分辨率构建了复杂的算法。这范围从专利方式超越ABBE限制,通过图像重建,更新类型的稀疏数据AI,用于创建最快的纳米监测的计算机视觉技术,以及用于智能自动化传统手动过程的系统。
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nspec.®使用自动非接触点查找方法来快速确定3D关键尺寸。
在每个节点上,晶圆检验变得更具挑战性和昂贵。将集成电路带到市场的生产过程提前期正在上升。复杂的检查,测试和验证程序可以创建延迟。
该过程检测由光掩模或曝光过程引起的粒子和缺陷簇引起的缺陷。缺陷映射报告了检测到的所有缺陷,并且该过程适用于非常大的设备,并检测无差别的高频功能区域的缺陷。
关于人工智能前沿的思考。机器学习和计算地复制人脑的力量。
虽然定义明确,系统放大率和分辨率通常误解。我们真的关注系统分辨率 - 系统在图像中量化细节的能力。
在这项工作中,讨论了提供小于1微米的分辨率的新反射光法。该方法通过机械移动以小增量移动样品来避免可见光的衍射极限。